菊恩實業(yè)小編建議處理沸石轉輪中VOCs殘留還可以用：
2.高溫再生
一般情況下，晶片制造沸石轉輪的再生溫度為180-200℃，在此溫度下，高沸點的二甘醇胺等物質不能有效地從沸石轉輪內(nèi)脫附，從而逐漸積聚在滾筒內(nèi)。
通過對沸石轉輪系統(tǒng)高沸點物質聚集情況的研究，發(fā)現(xiàn)在沸石轉輪系統(tǒng)運行1個月后，滾筒內(nèi)的確存在較大數(shù)量的有機物聚集，其聚集量約為6wt%。經(jīng)有效高溫脫附后，有機物質的積聚量可減少40%~60%左右。結果表明，高溫脫附能較好地去除沸石轉輪中高沸點有機物。
如果高溫脫附溫度選擇過高，則會對沸石分子篩的骨架結構造成一定影響，從而影響分子篩的使用壽命。建議選用300℃左右高溫脫附，且相應的沸石轉輪內(nèi)部配件均需采用可耐300℃高溫的密封配件。
3.再生洗滌
晶片制造工業(yè)中常用的有機材料一般都有很好的水溶性，可以用水洗再生的方法去除沸石轉輪中聚集的高沸物。
水洗再生能有效地提高沸石轉輪系統(tǒng)的治理效率，對工廠而言，水洗再生次數(shù)達到4~6次/年時，治理效率可達95%~99%。所以，適當增加定期水洗再生頻率，可以有效地防止沸石轉輪內(nèi)高沸點物質的聚集，保持高治理效率。
分子篩在陶瓷纖維紙表面涂布，通常是用無機粘結劑來制作沸石轉輪，因此當水洗時，不僅沸石分子篩不會出現(xiàn)龜裂變形，而且也不會出現(xiàn)因分子篩脫落而造成的性能下降，使用壽命縮短等問題。
但水洗時要注意水質狀況，如果水中含有大量的鈣、鎂等離子，就會在沸石內(nèi)部形成碳酸鹽，堵塞了沸石轉輪中的蜂窩狀孔道；水中微量重金屬物質、氯等也會對沸石造成毒化。
需要指出的是，并非所有沸石轉輪材料都耐水洗，企業(yè)在水洗再生前，應向沸石轉輪設備制造商做好相關咨詢工作。
4.高壓空氣凈化裝置
各企業(yè)在停機檢維修期間，采用高壓空氣吹掃沸石轉輪。但由于VOCs有機物通常吸附在分子篩孔洞內(nèi)，不能被有效地去除，因此菊恩實業(yè)小編建議需要選用高壓空氣吹掃來清除沸石轉輪表面附著的塵埃，并應與上述處理方法配合使用。
